優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體

結(jié)合過濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。
結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，過濾精度達(dá)3nm。
獨(dú)特的濾材結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在保證過濾效率的同時(shí)，也避免引起湍流，對工藝室環(huán)境造成影響，防止吹起顆粒或甚至吹起硅片。

超高純氣體擴(kuò)散器特點(diǎn)

1.不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣
2.整體316L不繡鋼結(jié)構(gòu)
3.減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
4.適用于多種工藝氣體
5.100%6完整性測試通過
6.100%6氦氣泄露檢測道過
7.耐高溫、耐高壓、耐腐蝕。防止敬粒混入，幫助提高產(chǎn)品合格率
8.可根據(jù)安裝空同進(jìn)行設(shè)計(jì)
9.過濾精度高
10.均勻氣體擴(kuò)散

應(yīng)用行業(yè)

1、氣體擴(kuò)散系統(tǒng):用于精密氣體擴(kuò)散，如氣體流量控制和均勻分布，廣泛應(yīng)用
2、于實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體制造、化學(xué)反應(yīng)器等
3、化學(xué)反應(yīng)器:在需要控制氣體傳輸速率和均勻性的環(huán)境中，確保氣體擴(kuò)散均勻且無污染
4、高精度氣體供給系統(tǒng):如高純度氣體傳輸系統(tǒng)
5、半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣