在半導體產業的精密制造鏈條中,每一個環節都如同精密鐘表的齒輪,任何微小的瑕疵都可能引發連鎖反應,影響最終產品的質量。氣體分配系統作為芯片制造的 “血管”,其內部的潔凈度直接決定了工藝的穩定性。深圳恒歌研發的金屬過濾墊片,以其獨特的設計與卓越的性能,成為守護這一 “血管” 潔凈的隱形衛士,為半導體生產保駕護航。
金屬過濾墊片并非傳統意義上的簡單密封件,而是集成了過濾功能與密封性能的精密組件。深圳恒歌的這款產品采用全金屬材質打造,整體選用 316L 不銹鋼結構,這一材質的選擇背后蘊含著對半導體行業嚴苛環境的深刻理解。316L 不銹鋼具有極強的耐腐蝕性,能夠抵御半導體生產中常用的各種腐蝕性氣體,如氯氣、氟化氫等,避免因材質腐蝕而產生顆粒污染,同時也確保了墊片在長期使用過程中的結構穩定性。
在高溫環境下,金屬過濾墊片的表現同樣出色。半導體制造過程中,部分工藝需要在高溫條件下進行,氣體在傳輸過程中也可能保持較高溫度,普通材質的墊片在這樣的環境下容易出現老化、變形等問題,影響密封效果和過濾性能。而恒歌的金屬過濾墊片能夠在高達 400℃的環境下穩定工作,無論是持續的高溫烘烤還是瞬間的溫度波動,都不會對其性能產生明顯影響,始終保持良好的過濾與密封狀態。
作為表面密封的過濾器,恒歌金屬過濾墊片的安裝方式堪稱行業典范。它無需進行復雜的管道切割或焊接工作,只需采用墊片式便捷安裝,就能快速集成到現有的氣體分配系統中。這種設計不僅大大簡化了安裝流程,降低了安裝難度,還減少了因安裝操作對系統造成的干擾。對于半導體工廠來說,設備的安裝與維護往往需要在短時間內完成,以減少對生產進度的影響,恒歌金屬過濾墊片的便捷安裝特性恰好滿足了這一需求,為企業節省了寶貴的時間和人力成本。
過濾精度是衡量過濾墊片性能的核心指標,恒歌金屬過濾墊片在這方面表現優異。其過濾精度可達≥0.3μm,能夠有效攔截氣體中攜帶的微小顆粒,這些顆粒一旦進入 MFC 模塊、精密閥門等敏感組件,可能會造成設備堵塞、磨損,甚至導致系統泄漏。通過高效的過濾作用,金屬過濾墊片為這些精密設備筑起了一道堅固的防線,延長了設備的使用壽命,降低了因設備故障導致的停機風險,間接提高了生產效率。
考慮到不同半導體生產場景的需求差異,恒歌金屬過濾墊片提供了豐富的規格選擇。在密封面尺寸上,涵蓋了 1/4’’VCR、1/2’’VCR、3/4’’VCR 等多種規格,能夠兼容不同型號的管道接口,滿足多樣化的系統配置需求。在過濾精度方面,除了≥0.3μm 的高精度選項外,還提供 1.0μm、5μm、10μm 等不同等級,企業可以根據具體的工藝要求選擇合適的精度,實現精準過濾,避免過度過濾造成的能源浪費。
在壓力適應能力上,恒歌金屬過濾墊片同樣表現出色。適用于高壓系統管路的型號,1/2’’規格的最大正向壓差可達 2.9Mpa,1/4” 規格更是能承受 10.4Mpa 的高壓,流量范圍在 0~300slpm,足以應對高壓、大流量的氣體傳輸場景;而適用于低壓系統管路的型號,最大使用壓力為 0.98Mpa,流量范圍 0~100slpm,能夠滿足低壓工況下的過濾需求。這種全面的壓力覆蓋能力,使得恒歌金屬過濾墊片可以在半導體生產的不同工藝環節中發揮作用。
對于已經投入運行的半導體氣體分配系統,恒歌金屬過濾墊片同樣具有出色的適配性。它可以直接在現有配管上安裝,無需對系統進行大規模改造,為企業的設備升級提供了經濟高效的解決方案。很多半導體工廠在長期生產過程中,可能會面臨過濾設備老化、性能下降等問題,更換新的過濾系統往往需要巨大的投入,而恒歌金屬過濾墊片的出現,讓企業無需承擔高昂的改造成本,就能快速提升系統的過濾性能,保障生產的穩定進行。
泄漏風險是半導體氣體系統安全運行的重大隱患,而顆粒污染是導致泄漏的重要原因之一。恒歌金屬過濾墊片通過有效阻隔微粒侵襲,減少了微粒對密封面的磨損和侵蝕,從源頭上降低了因顆粒污染引發的泄漏風險。這不僅保障了生產環境的安全,還減少了因泄漏導致的氣體浪費和環境污染,符合半導體行業綠色生產的發展趨勢。
深圳恒歌始終秉持著為半導體行業提供高品質設備的理念,金屬過濾墊片的研發與生產過程嚴格遵循行業標準,每一個產品都經過精密的加工和嚴格的檢測,確保其性能達到設計要求。從材質的篩選到工藝的控制,再到成品的檢驗,每一個環節都凝聚著恒歌對品質的執著追求。
在半導體產業不斷向高精度、高集成度發展的今天,對氣體分配系統的潔凈度要求越來越高。恒歌金屬過濾墊片以其卓越的性能、便捷的安裝和廣泛的適用性,成為了半導體氣體系統中不可或缺的重要組件。它如同一位隱形的守護者,默默守護著系統的潔凈與穩定,為半導體芯片的高質量生產提供了堅實的保障。選擇恒歌金屬過濾墊片,就是選擇了可靠、高效與安心,讓半導體生產在潔凈的環境中穩步前行。
發布時間 25-07-31