高壓氣體過濾器_半導(dǎo)體精密過濾器_壓縮空氣氨氣過濾器

HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合，兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铮Ｗo(hù)系統(tǒng)免受污染，從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運行。濾芯可更換，維護(hù)簡便。

供貨能力: 每月10000件以上

定制方式: 來圖定制

產(chǎn)地: 廣東深圳

材質(zhì): 316/不銹鋼

交期: 一周

產(chǎn)品詳情

HF系列高壓氣體專用過濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铩⒈Ｗo(hù)系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運行。濾芯可更換、維護(hù)簡便。

產(chǎn)品特點

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個高壓氣體過濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

4、過濾效率高、不易堵寒

5、安裝與檢修便捷高效

6、100%完整性測試通過

7、100%氨氣泄露檢測通過

技術(shù)參數(shù)

濾芯材質(zhì)??	? 316L不銹鋼粉末燒結(jié)		殼體材質(zhì)	316L不銹鋼
表面處理???	內(nèi)表面???	Ra < 1.6μm	過濾精度μm	≥10~0.003?
	外表面???	電解Ras0.13μm?
最大工作壓差	500bar		最大工作壓差	5bar
最高使用溫度	600°C		下游潔凈度	≥0.03particles/liter @>0.01um rated flow
氦氣驗證泄漏率	1x10^-10cc/min		氦氣測試泄漏率	1×10^-⁹/min